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| 设备类型： |
辅助测量 |
所属平台： |
微加工与器件平台 |
| 状态： |
正常
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管理员： |
贾晓云(jiaxiaoyun), 0769-89136291+8008 |
| 备注： |
相关测试技术问题请联系设备管理员
1、针尖为消耗品，需要单独领用，费用另计。
（如使用公共针尖，测试过程中更换新针尖，费用需算入本次使用费用中，且此针尖仍为公共针尖。）
2、起约30分钟，计费周期15分钟；
3、目前仅测粗糙度和台阶，可进行对外培训，培训完成后可自行操作，操作过程中如针尖损坏需照价赔偿
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| 用途： |
用于6inch以下的晶圆及碎片的形貌表征和粗糙度表征。 |
| 技术指标： |
1.工作模式：接触、轻敲、摩擦力、侧向力、相位、磁力/静电力、F-Z力曲线、RMS-Z曲线；
2.XY方向最大扫描范围：100*100um；
3.Z扫描范围:10um（需要特殊针尖配合），现有针尖Z轴扫描范围约1um；
4.扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm；
5.X-Y样品台，移动精度1um；
6.XY移动行程：150*150mm。 |
| 开放时间： |
【星期日】08:30-23:45;
【星期一】08:30-23:45;
【星期二】08:30-23:45;
【星期三】08:30-23:45;
【星期四】08:30-23:45;
【星期五】08:30-23:45;
【星期六】08:30-23:45 |
| 计费单价： |
400.00 元/小时 (0.00 元/件) |
培训计费单价： |
500.00 元/人次
(需要培训)
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| 人工费单价： |
200.00 元/小时 |
违约计费单价： |
400.00 元/小时 |
| 最后修改： |
2024-07-19 16:40:39 |
修改人： |
贾晓云(jiaxiaoyun) |