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| 设备类型： |
薄膜工艺 |
所属平台： |
微加工与器件平台 |
| 状态： |
正常
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管理员： |
李成(licheng), 0769-89136291+8012 |
| 备注： |
1）预约请备注需要蒸镀的金属种类和厚度（例如Ag 100nm），以及样品尺寸等基本信息；无备注无法审核通过；2）手动控制为主，需积累一定经验，建议培训通过后独立操作
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| 用途： |
热蒸发台，配备三路电流源、六路蒸发舟，适合于Ag、Al、Sn、In低熔点金属蒸发。 |
| 技术指标： |
1）样品尺寸：6"及以下标准晶圆、小片
2）基片加热温度：≤300℃
3）极限真空：6E-5Pa
4）电流控制能力：单路电流大小≤300A，电流精度0.1A，单路功率≤1.8kW
5）均匀性：≤±5%
6）加工能力：2寸4片/炉；4寸1片/炉；6寸1片/炉 |
| 开放时间： |
【星期日】08:30-23:45;
【星期一】08:30-23:45;
【星期二】08:30-23:45;
【星期三】08:30-23:45;
【星期四】08:30-23:45;
【星期五】08:30-23:45;
【星期六】08:30-23:45 |
| 计费单价： |
500.00 元/小时 (0.00 元/件) |
培训计费单价： |
1000.00 元/人次
(需要培训)
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| 人工费单价： |
200.00 元/小时 |
违约计费单价： |
500.00 元/小时 |
| 最后修改： |
2024-11-12 14:32:34 |
修改人： |
李成(licheng) |