|
 |
|
 |
| 设备类型： |
刻蚀工艺 |
所属平台： |
微加工与器件平台 |
| 状态： |
正常
|
管理员： |
唐延华(tangyanhua), 0769-89136291+8009 |
| 备注： |
一小时起约
|
| 用途： |
使用Ar离子束轰击样品表面，使样品被刻蚀。可进行Pt、Au、Ti、Ni、Al、Cu和Cr等金属膜刻蚀；也可以进行介质膜、金属化合物薄膜等大部分材料的刻蚀刻蚀。 |
| 技术指标： |
离子束束流：≤180mA（可调）；
Ar气流量：≤20Sccm（可调）；
倾斜角度：0-180°（可调）；
样品台冷却：水冷；
样品台转速：0-20转/分钟（可调）；
载片： 6寸向下兼容
均匀性：6%左右
注：一小时起约 |
| 开放时间： |
【星期日】08:30-23:45;
【星期一】08:30-23:45;
【星期二】08:30-23:45;
【星期三】08:30-23:45;
【星期四】08:30-23:45;
【星期五】08:30-23:45;
【星期六】08:30-23:45 |
| 计费单价： |
600.00 元/小时 (0.00 元/件) |
培训计费单价： |
600.00 元/人次
(需要培训)
|
| 人工费单价： |
200.00 元/小时 |
违约计费单价： |
600.00 元/小时 |
| 最后修改： |
2024-07-22 09:55:01 |
修改人： |
唐延华(tangyanhua) |