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| 设备类型： |
薄膜工艺 |
所属平台： |
微加工与器件平台 |
| 状态： |
正常
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管理员： |
李成(licheng), 0769-89136291+8012 |
| 备注： |
(1) 请备注需要蒸镀的金属、膜厚、衬底（如Ti/Al=20/500nm，4寸Si片*2）等信息，并点击“保存工艺”按钮，信息含糊不清的将不予通过；(2)该设备1.5小时起约，一般每增加一层金属增加机时0.5h；(3)若使用贵金属，需至少提前1个工作日(17:30前）提出预约申请，且仅限工作日的工作时间内使用，Au（含Au合金）、Pt、Pd按240元/10nm，Ag按12元/100nm收取工艺耗材费，最低10nm起；(4)在预约时间衔接过密集的情况下，实际开始时间与预约时间可能存在0.5h偏差（5）以包机时形式预约的加工服务，只提供设备的使用和少量标准基本工艺做参考，如对成膜层性能有特别要求，需预约机时自行调试开发。
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| 用途： |
电子束蒸发机台，具备电子束蒸发和热蒸发两种模式，主要用于Ti、Cr、Ni、Ag、Al、Ge、AuBe、AuGeNi等金属及合金薄膜材料蒸发制备。
说明：Au、Pt贵金属材料请预约设备“双枪电子束蒸发”设备，若有特殊情况或需求请与设备负责人沟通。 |
| 技术指标： |
1）样品尺寸：8"及以下标准晶圆、小碎片（碎片必须从正面四边或角贴高温胶带固定）
2）加热温度：≤350℃
3）极限真空：5E-5Pa
4）速率：0.1A/s-10A/s可调
5）膜厚不均匀性：≤±5%(基于500nm)
6）加工能力：2寸80片/炉；3寸16片/炉；4寸20片/炉；6寸9片/炉；8寸6片/炉
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| 开放时间： |
【星期日】08:30-23:45;
【星期一】08:30-23:45;
【星期二】08:30-23:45;
【星期三】08:30-23:45;
【星期四】08:30-23:45;
【星期五】08:30-23:45;
【星期六】08:30-23:45 |
| 计费单价： |
1000.00 元/小时 (0.00 元/件) |
培训计费单价： |
2000.00 元/人次
(需要培训)
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| 人工费单价： |
200.00 元/小时 |
违约计费单价： |
1000.00 元/小时 |
| 最后修改： |
2024-11-15 14:19:12 |
修改人： |
李成(licheng) |