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| 设备类型： |
外延及辅助测量 |
所属平台： |
微加工与器件平台 |
| 状态： |
正常
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管理员： |
唐延华(tangyanhua), 0769-89136291+8009 |
| 备注： |
4-point probe sheet resistance/resistivity measurement system
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| 用途： |
CRESBOX 是使用四点探针的方法来量测金属薄膜、金属化合物薄膜、扩散层、外延层和离子植入层的表面电阻。可形成二维或3维mapping图。
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| 技术指标： |
1. 测量薄片尺寸
①直径：2英寸-8英寸，整片。
②厚度；＜1.5mm。
2. 测试项目与范围
5.0mΩ/sq ~ 10.0MΩ/sq
3. 测量精度：
标准电阻测量精度：＜ ±0.1％ (１mΩ～１MΩ, 16 ranges)
重复率测量：
标准薄片重复率测量精度： ＜ 0.7％ (% of one sigma) |
| 开放时间： |
【星期日】08:30-23:45;
【星期一】08:30-23:45;
【星期二】08:30-23:45;
【星期三】08:30-23:45;
【星期四】08:30-23:45;
【星期五】08:30-23:45;
【星期六】08:30-23:45 |
| 计费单价： |
300.00 元/小时 (0.00 元/件) |
培训计费单价： |
400.00 元/人次
(需要培训)
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| 人工费单价： |
200.00 元/小时 |
违约计费单价： |
300.00 元/小时 |
| 最后修改： |
2024-07-22 09:54:47 |
修改人： |
唐延华(tangyanhua) |