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| 设备类型： |
辅助测量 |
所属平台： |
微加工与器件平台 |
| 状态： |
正常
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管理员： |
唐延华(tangyanhua), 0769-89136291+8009 |
| 备注： |
Non-Contact Sheet Resistance Mapping System
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| 用途： |
通过高频电源在样品表面产生涡流电流，并通过感应器检测涡流电流的变化在非接触的情况下测出样品的方块电阻。可以测试金属、金属氧化物、半导体等材料。可以测试绝缘层以下的导电材料的方块电阻。可以形成2D或3D的mapping图。 |
| 技术指标： |
1. 测量薄片尺寸：2英寸-8英寸，整片。
2. wafer厚度：＜1mm。
3. 测试范围：0.01—3200 ohm/sq。
4. 测试精度：低阻探头精度。0.1%；高阻探头0.2-1.0%。
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| 开放时间： |
【星期日】08:30-23:45;
【星期一】08:30-23:45;
【星期二】08:30-23:45;
【星期三】08:30-23:45;
【星期四】08:30-23:45;
【星期五】08:30-23:45;
【星期六】08:30-23:45 |
| 计费单价： |
300.00 元/小时 (0.00 元/件) |
培训计费单价： |
400.00 元/人次
(需要培训)
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| 人工费单价： |
200.00 元/小时 |
违约计费单价： |
300.00 元/小时 |
| 最后修改： |
2024-07-22 09:54:28 |
修改人： |
唐延华(tangyanhua) |