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| 设备类型： |
薄膜工艺 |
所属平台： |
微加工与器件平台 |
| 状态： |
正常
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管理员： |
李成(licheng), 0769-89136291+8012 |
| 备注： |
(1) 请备注需要蒸镀的金属、膜厚、衬底（如Ti/Al=20/500nm，4寸Si片*2）等信息，并点击“保存工艺”按钮，信息含糊不清的将不予通过；(2)该设备1.5小时起约，一般每增加一层金属增加机时0.5h；(3)若使用贵金属，需至少提前1个工作日(17:30前）提出预约申请，且仅限工作日的工作时间内使用，Au（含Au合金）、Pt、Pd按240元/10nm，Ag按12元/100nm收取工艺耗材费，最低10nm起约；(4)在预约量大且预约时间衔接过密集的情况下，实际开始时间与预约时间可能存在0.5~1H偏差；（5）使用设备共蒸发功能需额外收取共蒸工艺耗材费200元/小时；（6）以包机时形式预约的加工服务，只提供设备的使用和少量标准基本工艺做参考，如对成膜层性能有特殊要求，需预约机时自行调试开发。
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| 用途： |
双枪电子束蒸发台，具备单源蒸发和双源共蒸发两种模式；（1）单源蒸发主要用于Ti、Al、Cr、Ni、Ag、Sn、Pt、Au等金属薄膜材料蒸发制备；（2）双源共蒸发主要用于AuSn、TiAl、TiNi等合金薄膜的制备（共蒸暂无标准工艺提供）。
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| 技术指标： |
1）样品尺寸：2、3、4、6、8inch标准片及小碎片；
2）加热温度：≤350℃
3）极限真空：3E-5Pa
4）速率：0.1A/s-10A/s可调
5）膜厚不均匀性：≤±5%（基于典型厚度500nm）
6）共蒸金属比例可调
7）加工能力：2inch 16片/炉；3inch 16片/炉；4inch 20片/炉；6inch 9片/炉；8inch 6片/炉 |
| 开放时间： |
【星期日】08:30-23:45;
【星期一】08:30-23:45;
【星期二】08:30-23:45;
【星期三】08:30-23:45;
【星期四】08:30-23:45;
【星期五】08:30-23:45;
【星期六】08:30-23:45 |
| 计费单价： |
1000.00 元/小时 (0.00 元/件) |
培训计费单价： |
2000.00 元/人次
(需要培训)
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| 人工费单价： |
200.00 元/小时 |
违约计费单价： |
1000.00 元/小时 |
| 最后修改： |
2024-10-11 23:42:12 |
修改人： |
李成(licheng) |