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| 设备类型： |
刻蚀工艺 |
所属平台： |
微加工与器件平台 |
| 状态： |
正常
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管理员： |
陈大旭(chendaxu), 0769-89136291+8002 |
| 备注： |
如果要使用6寸片，请提前与设备负责人联系
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| 用途： |
主要用于刻蚀压电材料：例如
主要完成PZT/Pt结构中PZT的刻蚀，控制刻蚀完成停在Pt上；
主要完成ScAlN/Mo结构中ScAlN的刻蚀，控制刻蚀完成停在Mo上；
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| 技术指标： |
ICP功率：≤1000W； RF功率：≤1000W；
工艺气体：Ar，O2，CHF3，C4F8、CF4、SF6、BCl3等
装片： 8英寸，向下兼容；
基底刻蚀温度：-20℃~40℃；
主要蚀刻材料为：PZT/Pt材料，ScAlN/Mo材料，Pt/PZT/Pt材料，Mo/ScAlN/Mo材料等；
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| 开放时间： |
【星期日】08:30-23:45;
【星期一】08:30-23:45;
【星期二】08:30-23:45;
【星期三】08:30-23:45;
【星期四】08:30-23:45;
【星期五】08:30-23:45;
【星期六】08:30-23:45 |
| 计费单价： |
1200.00 元/小时 (0.00 元/件) |
培训计费单价： |
2000.00 元/人次
(需要培训)
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| 人工费单价： |
200.00 元/小时 |
违约计费单价： |
1200.00 元/小时 |
| 最后修改： |
2024-07-22 10:13:06 |
修改人： |
陈大旭(chendaxu) |